Сниматель Русион СПВ
«Русион СПВ» изготовлен исключительно из российского сырья и не зависит от импортных составляющих, санкционных ограничений, вводимых «недружественными странами».
Русион СПВ — средство для удаления остатков после травления на основе гидроксиламина для кристаллов интегральных схем, содержащих алюминиевые проводники.
В качестве российской альтернативы американскому снимателю Dupont PlasmaSolv EKC265. Сниматель полимерной высадки может быть использован в полупроводниковой промышленности для удовлетворения критических потребностей в очистке на всех этапах. Содержит мощный нуклеофил, восстановитель и хелатор. Его уникальные свойства позволяют ему разрушать и растворять множество различных типов остатков, которые образуются в процессе травления без потерь критического размера или коррозии металла. Мощная химическая активость продукта дополняется другими активными компонентами, которые увеличивают удаление металлоорганических и тяжелых органических остатков.
Компоненты:
ТУ 20.59.59-016-32098070-2023
гидроксиламин: 16,5-18,5%
2-(2-амино-этокси)этанол: 58-62%